勻膠機是一種常見(jiàn)用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗室設備，它的原理相對比較簡(jiǎn)單，利用電機高速旋轉時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。

勻膠機有很多稱(chēng)謂，勻膠臺，旋轉涂膜機，旋轉涂層機或者旋轉涂敷機等等，它的英文是 Spin Coater（旋轉涂膜的意思）。勻膠機既然是科研開(kāi)發(fā)上制備薄膜材料的方法之一，使用者對于該設備期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。

通常我們會(huì )用均一性和可重復性來(lái)衡量薄膜材料制備的好壞。國內外對于這種勻膠旋涂設備的發(fā)展呈現出很大的差距。中國先開(kāi)展勻膠機研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號的勻膠機，具有低速起步和高速旋轉兩個(gè)單位。

 CIF生產(chǎn)的勻膠機，  采用閉環(huán)控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長(cháng)，保證勻膠的均一性。5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設置），可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設置10個(gè)勻膠梯度階段，z多100個(gè)階段。內置水平校準裝置，保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進(jìn)行旋涂。多重安全保護:樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護，有效降低電機進(jìn)膠的風(fēng)險。一機兩用，根據

不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。可選氮氣吹干、氮氣保護，自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置，提供多種的操作便利性。適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。