n產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CHEMIXX  760系統是一款大尺寸濕法系統，支持最大樣品達535X535mm(21寸方片)，更大的樣品尺寸可定制，一臺系統可實(shí)現清洗、蝕刻 、顯影 ，干燥整個(gè)工藝過(guò)程。

n產(chǎn)品特色

÷ 基板尺寸高達 535 x 535 mm/21 x 21 inch

÷ 手動(dòng)裝載半自動(dòng)系統

÷ 兩個(gè)用于化學(xué)液輸送和機械清洗的電動(dòng)輸送臂

÷ 提供多種噴嘴，spray,puddle,噴霧，5孔碰頭等

÷ 低接觸或定制夾具

÷ 化學(xué)液具有加熱功能，最高 60°C (85°C) 

÷ 集成三種不同化學(xué)液供液系統，外部液體罐可選

÷ 手動(dòng)灌裝或通過(guò)批量灌裝系統

÷ 工藝室外的手動(dòng)去離子水槍

÷ 去離子水室沖洗

÷ 系統前端的緊急停止按鈕

÷ 傳感器控制的 3 路排水系統可通過(guò)配方進(jìn)行編程。

÷ 帶有三個(gè)光區的信號燈，用于系統狀態(tài)的可視化

÷ 支持化學(xué)液清洗，兆聲清洗，PVA刷洗，吹干等工藝

÷ 滿(mǎn)足潔凈室等級 10 (ISO 4) 的一般設計

n技術(shù)數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達 535 x 535 mm / 21 x 21 inch

÷ 電機轉速: 最大 3.000 rpm, 步長(cháng) 1 rpm

÷ 電機加速: 最大 2.000 rpm/s,步長(cháng) 1 rpm/s

÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1 至 999.9 秒，步長(cháng)為 0.1 秒

÷ 工藝腔室材料:  PP （可選 PVDF)