產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BASIXX SH22是一款臺式半自動(dòng)勻膠機熱板復合系統，功能強大，具有勻膠、清洗、顯影、干燥、預烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅膜)工藝等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學(xué)，研究所等科研實(shí)驗室。

產(chǎn)品特色

勻膠機：

÷ 落地臺式機，結構緊湊，所有單元集成在一臺設備中，集成度高。

÷ 手動(dòng)裝載/卸載

÷ 襯底最大可達?200mm (?8inch)或150x150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶(hù)友好的操作

÷ 直驅旋涂電機

÷ 全軸電機驅動(dòng)且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 外殼上有電源開(kāi)關(guān) ON / OFF

÷ 工藝腔和可更換防濺環(huán)，易于拆卸以進(jìn)行清潔。

÷ 系統材料為PP材質(zhì)，耐所有類(lèi)型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。 

÷ 包括0.5升廢液瓶

熱板：

÷ 溫度高達 300°C

÷ 電子驅動(dòng)升降pin

÷ 支撐pin材料為不銹鋼，尖端采用 PEEK 材料 (最大250°C)

÷ 程序控制支撐pin的升降（不同停止的速度和步數）

÷ 熱板通過(guò)真空固定晶圓

÷ 熱板蓋手動(dòng)控制

÷ 集成排煙裝置

÷ 通過(guò)設置receip自動(dòng)進(jìn)行加熱處理

 技術(shù)數據

勻膠機：

÷ 襯底尺寸: 最大可達?200mm (?8 inch) 或150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 電機轉速: 最大10.000rpm,步長(cháng)1rpm

÷ 電機加速: 最大4.000rpm/s

÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1至999.9s，步長(cháng)為0.1s

÷ 工藝腔材質(zhì): 由天然PP制成

÷ 系統架構材質(zhì): 由白色PP制成

÷ 液體線(xiàn)路：

3線(xiàn): 2 x 24 V /最大1 Amp (每條) /觸發(fā)點(diǎn)0.1秒- ∞

5線(xiàn): 6 x 24 V /最大1 Amp (每條) /觸發(fā)點(diǎn)0.1秒- ∞

熱板：

÷ 襯底尺寸: 最大可達 ?200 mm (? 8”) 或 200 x 200 mm (8 x 8 inch)

÷ 溫度: 最大可達 300°C, 步進(jìn)1°C

÷ 溫度精度: < ±1°C@100°C 

÷ 支撐pin: ?50 mm (?2”) ,最大可達 ?200 mm(?8”) 或 200 x 200mm (8 x 8 inch)

÷ 熱板材質(zhì): 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁

÷ 加熱蓋材質(zhì): 不銹鋼 

選項 

勻膠機：

÷  自動(dòng)液體輸送臂   ÷  液體罐            ÷  防濺環(huán)

÷  廢液池        ÷  DI水沖洗          ÷  N2吹掃

÷  熱板         ÷  不同類(lèi)型的夾具     ÷  中心定位模塊

熱板：

÷ 支撐pin材料      ÷ 邊緣支撐pin       ÷ N2吹掃

÷ HMDS 熱板系統（六甲基二硅胺底膠蒸汽涂覆）   ÷ 600℃熱板   ÷ 真空泵